1980-е годы
Motorola продемонстрировала первый беспроводной мобильный телефон в 1973 году – DynaTAC. DynaTAC использовал керамические фильтры для радиочастотной фильтрации. И хотя эти керамические фильтры были меньше, чем упомянутые ранее фильтры на катушках и конденсаторах, они все еще занимали большую часть системы.
Итак, когда стандарты для сотовых систем связи 2G разрабатывались в течение 1980-х годов, они искали нечто меньшее. И тогда в 1992 году Fujitsu изготовила для мобильных телефонов первые радиочастотные фильтры на основе SAW-резонаторов.
Они были маленькими, дешевыми и простыми в изготовлении. Еще в 1975 году стоимость SAW-фильтров оценивалась примерно в $2 за каждый. Спустя почти 15 лет каждый фильтр стоил от $1.40 до $1.60 — при покупке объемом в 50 миллионов единиц.
Вы можете наполнить ведро этими фильтрами, потратив немного больше, чем стоит самое ведро. Это довольно поразительно, что столь высокотехнологичная продукция стоила так дешево.
SAW оказывается недостаточным
Итак, сначала SAW доминировал на рынке. Но когда развивался стандарт 2G GSM, ограничения SAW стали очевиднее.
2G-телефоны использовали, среди прочего, частоты около 2000 МГц (2 ГГц). Стало трудно производить SAW-фильтры для частот выше 2 гигагерц.
Это потому, что при увеличении центральной частоты фильтра нужно уменьшать расстояние между зубами. Выше 2 гигагерца эти расстояния становятся слишком малыми для легкого производства.
Стандарт мобильной связи 2G GSM начинался с всего одного радиочастотного диапазона. Таким образом, такой GSM телефон нуждался только в двух радиочастотных фильтрах — одного для передачи и одного для приема.
Но потом GSM начал прибавлять больше диапазонов. Теперь нам нужно больше фильтров, и эти фильтры стали мешать друг другу.
Когда мы приближались к 3G UMTS, стала очевидна потребность в чем-то новом. В 1998 году команда немецкого производителя полупроводников Infineon начала работать над альтернативой – объемным акустическим волновым фильтром или BAW.
Фильтры BAW
Концепции фильтра BAW датируются 1980 годом.
BAW-фильтры работают очень похоже на SAW-фильтры. Мы превращаем радиочастотную энергию в механическую энергию, которую затем можем превратить в электрический сигнал.
Однако фильтр BAW направляет энергию через всю свою толщину – то есть через весь объем, а не только по поверхности. Такие волны не только распространяются быстрее, но могут проходить дальше без ухудшения.
Существует два основных подтипа BAW-фильтров. Первый – это пленочный объемный акустический резонатор (FBAR). Другой – это твердо закрепленный резонатор (SMR).
Фундаментально они работают одинаково. В их основе есть структура, похожая на конденсатор, состоящий из верхнего и нижнего электродов, охватывающих слой пьезоэлектрического материала, такого как кварцевый кристалл.
Когда радиочастотный сигнал попадает на электроды, они создают электрические поля, заставляющие пьезоэлектрический материал генерировать акустические волны. Волны распространяются между этими электродами вертикально – вверх и вниз – через пьезоэлектрический материал. Мы можем затем превратить эти волны в электрический сигнал.
Центральная частота определяется толщиной пьезоэлектрического слоя. Этот слой может быть очень тонким – кристалл для 10 мегагерц имеет толщину примерно 170 микрометров.
FBAR и SMR
Когда речь идет о FBAR и SMR, существуют некоторые отличия. К примеру, SMR можно изготовить, используя традиционные технологии VLSI. Но ключевое отличие между SMR и FBAR касается того, как они захватывают и удерживают акустическую энергию внутри своей «сэндвичной» структуры.
Это щекотливый сэндвич. Любые помехи могут вызвать утечку энергии из сэндвича, ухудшая акустические волны, отражающиеся между электродами, и тем самым вызывая серьезное снижение производительности.
Поэтому нам нужен некий способ изоляции. Так же, как полупроводниковый завод подвешивает в воздухе на подвесах свою чистую комнату, чтобы предотвратить влияние вибраций грунта на работу. FBAR делает это, подвешивая сэндвич в воздухе.
Да, FBAR имеет буквальный воздушный зазор внутри. Это достигается с помощью МЭМС-техники, жертвуя слой, нанесенный на кремниевую подложку, который позже можно вытравить с помощью кислотного газа.
Есть несколько типов FBAR. Некоторые FBAR обладают тонкой мембраной, натянутой над воздушным зазором. Или у них есть пружины или отверстия по краям.
С другой стороны, SMR прочно заземляет всю структуру, но добавляет набор акустических отражателей – брегговских отражателей, чтобы отбивать акустические волны назад к сэндвичу.
Хотя SMR очень интересны, они в целом не столь продуктивны, как FBAR, на высоких частотах. Поэтому наше путешествие продолжится с FBAR.
Изготовление FBAR
Кроме их пригодности для высоких частот, FBAR-фильтры имеют много внутренних преимуществ по сравнению с SAW-фильтрами. Например, конденсаторообразная структура означает лучшее удержание электрических полей – предотвращение электрических помех между фильтрами. И они менее чувствительны к загрязнению частицами на поверхности фильтра. Это было подлинной проблемой для SAW-фильтров.
Но был один большой недостаток. Они более сложны в изготовлении. Мы все еще производим эти FBAR с помощью передовых МЕМС-технологий. Но FBAR имеют гораздо более сложные структуры, чем SAW-фильтры.
Пьезоэлектрический слой обычно производится из нитрида алюминия или оксида цинка и должен быть очень тонким. И в зависимости от вещества, может быть сложно получить хороший, ровный слой.
Сложность конструкции FBAR проявляется в увеличении количества слоев. Вы можете сделать очень простой BAW-фильтр с одним слоем, но он не будет хорошо работать. SAW-фильтр нуждается в одном, возможно, 2-3 слоях.
Хороший FBAR-фильтр потребует 9, 13 и более слоев.
HP начала исследовать FBAR в 1993 году. HP выделила лаборатории, чтобы создать новую компанию Agilent. И именно Agilent первая начала поставлять коммерческие дуплексеры – устройства для двунаправленной радиосвязи – с FBAR-фильтрами на основе структуры из нитрида алюминия.
Затем в 2006 году KKR и Silver Lake купили полупроводниковый бизнес Agilent. Этот бизнес был переименован в Avago. Avago позже стал публичной компанией и затем купил исследовательскую группу Infineon FBAR в 2008 году примерно за $20 миллионов. Сегодня Avago является частью Broadcom, который они купили в 2015 году.
Момент iPhone
Когда iPhone впервые появился на рынке, он поначалу был просто малофункциональным телефоном — даже обои на экране нельзя было изменить.
Первый iPhone, выпущенный в 2007 году, имел радиомодуль 2G. Его четырехдиапазонный GSM/EDGE RF приемопередатчик, изготовленный, возможно, компанией Infineon, использовал SAW-фильтры.
Его преемник iPhone 3G с 2008 года перешел на 3G и также использовал SAW-фильтры. В статье iFixit’s teardown того времени упоминается, что фильтры, возможно, произведены японской компанией Murata.
Это продолжалось и в случае iPhone 4 и 4s. SAW-фильтры для iPhone 4 были сделаны компанией Skyworks. По iPhone 4s, эти SAW-фильтры могли быть от американской полупроводниковой компании TriQuint, которая сейчас является Qorvo после большого слияния с RF Micro Devices в 2015 году.
В любом случае, эти айфоны все еще были телефонами – и они имели радиочастотные фильтры, соответствующие телефонам. Но потом появился App Store, и вдруг люди поняли, что их iPhone – это больше, чем просто телефон. Это был маленький интернет-компьютер прямо в их кармане. Это повлекло за собой огромный взрыв спроса на мобильный интернет.
iPhone 5 знаменует современный мобильный интернет
В 2011 году Apple выпустила iPhone 5, и, как обычно любит говорить компания в своей маркетинговой стратегии – все снова было другое. iPhone 5 был первым iPhone, использовавшим беспроводной стандарт 4G LTE.
Это сокращение означает Long Term Evolution – что бы это ни значило – но этот стандарт предлагает лучшую пропускную способность передачи данных, меньшую задержку, и, в отличие от 2G или 3G, базируется на пакетах IP.
LTE охватывает поразительное количество 40 частотных диапазонов по всему миру, варьирующихся от 600 мегагерц до 3600 мегагерц. Таким образом, у LTE-телефонов должны быть фильтры для всех этих диапазонов. Это означает множество фильтров и модулей.
В iPhone 5 используются дуплексоры TriQuint/Qorvo, обрабатывавшие 3G UMTS-диапазон, а дуплексор Avago с фильтром FBAR обрабатывал LTE. Вкладывание такого большого количества фильтров в телефон делает его изготовление более дорогим.
Однако, когда пришло время iPhone 5, Apple боролась за долю рынка. Чтобы добиться наибольшего масштаба, Apple хотела выпустить единственный «мировой телефон» для каждой страны мира. Никто не хочет путешествовать в Европу, Тайвань или где угодно в отпуск, только чтобы обнаружить, что телефон не работает с местным LTE-диапазоном.
Результатом явилась масштабная экспансия возможностей мобильного радио. Оригинальный iPhone 2007 года имел только четырехдиапазонный радиомодуль. Меньше чем через десятилетие, iPhone 7 может получить доступ к 23 или 24 GSM, CDMA и LTE-диапазонам.
Телефоны Samsung Galaxy могут работать в 16 частотных диапазонах. И это еще не учитывает Wi-Fi, GPS, BlueTooth и NFC.
Бум данных LTE
В 2004 году бизнес с BAW RF фильтрами стоил менее 100 миллионов долларов. Однако выпуск iPhone 5 и использование LTE зарядили индустрию. К концу 2016 года, высокочастотная отрасль RF фильтров оценивалась более чем в 1,6 миллиарда долларов.
Появились новые рыночные давления. Люди хотят, чтобы их мобильные устройства были не только более тонкими и легкими, но и более производительными, давя на поставщиков фронтальных радиочастотных фильтров на интеграцию отдельных фильтров, переключателей и усилителей питания в один RF блок.
Эти BAW фильтры теперь не похожи на то, как вы представляете обычный кремниевый чип – это свидетельствует о разнообразии экосистемы полупроводников. Сама отрасль BAW RF фильтров в основном консолидировалась к двум основным поставщикам – Qorvo и Avago/Broadcom. Итого они контролируют около 95% рынка. И интересно, что Broadcom производит свои RF фильтры в Соединенных Штатах.
На рынке SAW-устройств все еще есть несколько разных игроков, среди крупнейших из которых Murata, Skyworks, Qorvo и японская компания Taiyo Yuden. Не вспоминая всех десятков малых производителей.
Будущее
LTE была технологией 4G, и она вызвала огромный бум. А сейчас мы переходим в мир 5G. 5G может обеспечить значительно более высокие скорости передачи данных, чем устройства 4G, что в свою очередь требует не только более высоких частот, но и больших сегментов этих более высоких частот.
Поэтому BAW фильтры должны снова адаптироваться. RF фильтр для более высокой частоты должен делать электрод-пьезоэлектрический сэндвич еще более тонким. И материалы могут измениться.
Одной из главных проблем было использование пьезоэлектрического материала в сэндвиче. Долгое время стандартом был нитрид алюминия. Но спрос на большую пропускную способность привел компании к использованию скандия в смеси – что улучшает радиочастотные характеристики.
Но подвох состоит в том, что допирование скандия имеет производственные проблемы, и это заставляет ребят из Qorvo и Broadcom играть в интересную игру в то, чтобы определить, какое количество скандия может быть добавлено и выйдет из этого.
По материалам: Asianometry